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仪器设备基本信息
设备名称:平面干涉仪
仪器型号:Φ800
所属单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
所属类别:仪器
设备原值:1200 万元
制造厂商:美国ZYGO公司
生产国别:美国
购置日期:
当前状态:对外服务
仪器设备详细指标
主要技术指标
可测量口径Φ800mm以下的平面反射镜; 测量精度:10nm;
功能/应用范围
此设备国内仅有三台。用于光学平面检测、光学平晶平行性检测、光学材料均匀性检测。
服务领域
,机械制造,医疗/卫生,地质勘探,电子/信息技术,交通/运输(公路/铁路),电气工程,仪器/仪表,航空/航天,环保/水利/气象/天文
技术特色
服务状况及收费标准
对外服务
(平均时机/年)
-
收费标准
(元/样品)
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韩冰
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86176011
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