仪器设备基本信息
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- 设备名称：台阶分析仪
- 仪器型号：XP-2
- 所属单位： 吉林大学
- 所属类别：仪器
- 设备原值：439055.24 万元
- 制造厂商：美国AMBIOS TECHNOLOGY公司
- 生产国别：美国
- 购置日期：
- 当前状态：对外服务
仪器设备详细指标
| 主要技术指标 |
1、最大扫描长度50mm（线性），最大采样点数60000，探针压力范围0.05~10mg；
2、摄像头带变焦；
3、最大样品厚度：1.25”，最大垂直测量范围：400um，垂直分辨率：1?@10um，15?@100um，62?@400um。
4、样品运动XY范围150*150mm，保证10?重复性（大约1um台阶高度，10次测量，1标准偏差）。 |
| 功能/应用范围 |
适用于测量薄膜样品的轮廓、台阶高度、膜厚、薄膜应力，表面粗糙度计算，刻蚀分析，用于控制各种薄膜的生长工艺。 |
| 服务领域 |
,仪器/仪表,其它 |
| 技术特色 |
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服务状况及收费标准
对外服务
(平均时机／年) |
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收费标准
(元／样品) |
面议 |
联系方式