仪器设备基本信息
-
- 设备名称：金属有机化学物气相沉积系统
- 仪器型号：CCS 32'' FT
- 所属单位： 吉林大学
- 所属类别：仪器
- 设备原值：7070267.60 万元
- 制造厂商：德国 AIXTRON Ltd
- 生产国别：德国
- 购置日期：
- 当前状态：对外服务
仪器设备详细指标
| 主要技术指标 |
1. 最高生长温度：1300摄氏度
2. 生长压力：100~600毫巴
3. 托盘最大转速：300转/分钟
4. 最大载气流量：20升/分钟 |
| 功能/应用范围 |
1. Glovebox: 维持设备真空度。
2. Gas Mixing Cabinet：为样品生长提供气源。
3. Control System：设备控制单元。
4. Reactor（Growth Chamber）： 样品生长反应室。
5. Options and Peripherals：保证设备正常运行的其它附属装置。 |
| 服务领域 |
,仪器/仪表,其它 |
| 技术特色 |
|
服务状况及收费标准
对外服务
(平均时机／年) |
- |
收费标准
(元／样品) |
面议 |
联系方式