仪器设备基本信息
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- 设备名称：高精度三维表面测量仪
- 仪器型号：CCTMP
- 所属单位：长春市计量检定测试技术研究院
- 所属类别：仪器
- 设备原值：160 万元
- 制造厂商：泰勒霍普森有限公司
- 生产国别：英国
- 购置日期：
- 当前状态：对外服务
仪器设备详细指标
| 主要技术指标 |
表面重复测量精度RMS:≤0.02mm 测量台阶精度：≤±0.5% |
| 功能/应用范围 |
数据存储器件 半导体器件 光学加工一级MEMS/MOEMS技术一级材料分析领域。 |
| 服务领域 |
,仪器/仪表 |
| 技术特色 |
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服务状况及收费标准
对外服务
(平均时机／年) |
1600 |
收费标准
(元／样品) |
面议 |
联系方式