仪器设备基本信息
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- 设备名称：金属有机复合膜等离子体溅射制备系统
- 仪器型号：AFS-1000
- 所属单位：中国科学院长春应用化学研究所
- 所属类别：仪器
- 设备原值：9.2 万元
- 制造厂商：--
- 生产国别：--
- 购置日期：
- 当前状态：对外服务
仪器设备详细指标
| 主要技术指标 |
1.溅射靶：金靶，铜靶
2.过滤功能：油雾过滤器
3.样品台：单靶直径100 mm 双靶直径150 mm
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| 功能/应用范围 |
该设备用于化学传感芯片以及芯片等材料基底的制备和条件的优化。 |
| 服务领域 |
,轻工/纺织,化工/化纤,电子/信息技术 |
| 技术特色 |
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服务状况及收费标准
对外服务
(平均时机／年) |
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收费标准
(元／样品) |
面议 |
联系方式