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仪器共享 Sharing Instrument

设备名称：手动掩膜对准光刻设备 仪器型号：MDA-400M 所属单位：中国科学院长春应用化学研究所 所属类别：仪器 设备原值：64.16 万元 制造厂商：-- 生产国别：-- 购置日期： 当前状态：对外服务

主要技术指标	1.采用350-450nm波长范围紫外光 2.光束均匀性<±3% 3.光束输出强度为15-25mW/cm2 4.对准精度为0.6~1微米 5.分辨率在1微米左右 6.曝光时间可调范围为0.1-999.9秒
功能/应用范围	该设备用于化学传感材料应用设计和传感器件微加工工作，是制备电化学传感，光传感器件的工具之一。如可用于制作下列器件与结构：电化学传感器件，光传感器件，生物传感芯片加工等。
服务领域	,轻工/纺织,石油/石化,化工/化纤,电子/信息技术
技术特色

对外服务 (平均时机／年)	--
收费标准 (元／样品)	面议

联系人	李风华
联系电话	13610785786